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AT200M(글러브박스에 들어갈 만큼 작은 크기)은 시중에서 구입할 수 있는 가장 작은 크기의 ALD(원자층 증착) 시스템입니다. |
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4인치 AT410 모델은 맞춤형 척/플래튼 또는 챔버(3D 부품용)를 갖춘 시중에서 가장 가성비높은 써멀 ALD 장비입니다. |
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6인치 AT650P는 다운스트림 플라즈마를 갖춘 비용 효율적인 데스크톱 플라즈마 ALD 시스템입니다. |
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AT650T는 플라즈마로 업그레이드가 가능한 6인치 데스크톱 써멀 ALD 시스템입니다. |
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ATOzone(오존 발생기) 시스템은 아주 작은 크기로 고농도(최대 12%) 오존을 전달하는 고품질 오존 발생기 입니다. |
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AT610은 시장에서 가장 비용 효율적인 6인치 데스크탑써멀 ALD 시스템입니다.
맞춤형 척/챔버/플래튼(소형 또는 3D 부품용).
정사각형 기판을 고정할 수 있습니다. |
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AT810 모델은 8인치 데스크탑 열 ALD 시스템입니다.
맞춤형 척/챔버/플래튼(소형,3D 부품 또는 다중 부품배치 용).
정사각형 기판을 고정할 수 있습니다. |
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강한 자기장에 의한 고밀도 플라즈마 스퍼터링 소스를 이용하여
낮은 가스압력에서 산소에 영향과 플라즈마에 의한 손상이 없는
고순도금속, 삼원계 금속 및 전도체 박막 진공 증착 가능. |
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ALD Systems Comparison
Compare ALD equipment and systems manufacturedAnric Technologies. Compare by size and capability.
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AT200M |
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AT410M/610/810 |
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AT650T |
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AT650P |
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Desktop (W: ~11” (27.9cm) x D: 15” (38.1cm) x H: 14.5” (36.8cm)) |
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Desktop (W: 24.5” (62.3cm) x D: 24” (61cm) x H: 15.75” (40.5cm))[610 D: 25″ (63.5cm)] |
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Desktop (W: 15” (38.1cm) x D: 15” (38.1cm) x H: Less that 38” (96.5cm)) |
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Desktop (W: 15” (38.1cm) x D: 15” (38.1cm) x H: 38” (96.5cm)) |
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Sample Size = 2 inch (x2) up to 2 x 2 x 2” volume |
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410 = 4 inch; 610 = 6 inch; 810 = 8 inch |
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6 inch |
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6 inch |
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Thermal to 300°C |
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Thermal to 320°C |
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Thermal to 400°C
(upgradeable to Plasma) |
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Plasma and Thermal to
400°C |
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One Precursor/One Counter
Reactant |
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Three Precursors/ Up to Three Counter
Reactants |
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Four Precursors/Four
Counter Reactants |
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Four Precursors/Four
Counter Reactants |
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Heated Precursor to 150°C |
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Heated Precursor to 180°C (N2 Assist Available) |
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3 Precursors to 185°C (with optional pressure boost) , 1 at RT |
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3 Precursors to 185°C (with optional pressure boost) , 1 at RT |
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All stainless steel chamber and metal sealed stainless lines |
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All aluminum chamber (hot walled) and metal sealed stainless lines |
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All aluminum chamber (warm walled) and metal sealed stainless lines and chuck |
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All aluminum chamber (warm walled) and metal sealed stainless lines and chuck |
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Heated lines and fast pulsing ALD valves |
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Heated lines and fast pulsing ALD valves |
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Heated lines and fast pulsing ALD valves |
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Heated lines and fast pulsing ALD valves |
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Ultrafast MFC |
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Ultrafast MFC |
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Up to four ultrafast MFCs |
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Up to four ultrafast MFCs |
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5” Display w. Integrated
PLC |
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7“ Display with integrated
PLC |
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10“ Display with integrated
PLC |
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10“ Display with integrated
PLC |
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